测量应变的光栅衍射法

综述了用于直接测量应变的光栅衍射方法.给出了利用这种方法的两种系统.第1种系统是1种小型的应变测量显微镜.它是利用所研制的载物和记录系统对白光为光源的莱茨(Leitz)光学透射式显微镜进行改制而成的.所用的光栅是40l/mm到200l/mm之间的中等刻线密度光栅.借助伯特兰(Bertrand)镜头可使光栅的傅里叶谱在CCD探测器平面上形成高质量的图像.而开发的软件能精确、快速和自动地确定衍射光束光斑的中心位置.第2种系统是基于1块高频光栅和2个位敏探测器(PSDs)的一种新型应变探测器.用聚焦激光束照明,位敏探测器贴近样品的表面光栅,通常光栅的频率为1200l/mm.用两个与个人计算机(PC)连接的位敢探测器(PSD)自动测定光栅衍射光束光斑中心位置,同时测定由样品变形产生的衍射光束光斑的位移.应变灵敏度可达1με。