摘要
近年来,随着新材料的开发,尤其是薄膜材料的发展和应用,带动磁控溅射沉积技术的飞速发展,在科学研宄领域和工业生产中有着不可替代的重要作用。本文主要介绍了磁控溅射沉积技术的工艺过程及其发展情况,各种主要磁控溅射镀膜技术的特点,并介绍磁控溅射技术在各个领域的主要应用。
出处
《中国科教创新导刊》
2013年第29期136-136,138,共2页
CHINA EDUCATION INNOVATION HERALD
基金
河南科技大学实验技术开发基金(SY1112008)
科研创新能力培育基金(2012ZCX017)