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新型倾角传感器设计
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摘要
该文利用石英晶片的压电特性,针对传统倾角传感器的缺点,提出了一种新型的倾角传感器设计方法。应用本文提出的设计方法设计出的传感器与其他传感器相比具有体积小,灵敏度高,抗干扰能力强等优点。同时对传感器的原理,结构,信号处理电路进行了分析。
作者
张延豫
时振彬
李士光
陈明文
机构地区
山东黄河工程集团有限公司
出处
《科技创新导报》
2013年第22期63-63,共1页
Science and Technology Innovation Herald
关键词
石英晶片
倾角传感器
MEMS加工技术
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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