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首台应用于AM—OLED显示屏制造的国产投影光刻机上线
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摘要
近日,由上海微电子装备有限公司自主研制的首台应用于AM—OLED显示屏TFT电路制造的2.5代投影光刻机SSB225/10A通过用户出厂验收,顺利发运全客户处上线试用。未来,SMEE还将为国内平板显示产业提供更高代TFT电路制造投影光刻机产品,为国内平板显示产业增强国际竞争力贡献力量。
出处
《集成电路应用》
2013年第9期44-44,共1页
Application of IC
关键词
OLED显示屏
投影光刻机
制造
AM
应用
平板显示产业
国产
国际竞争力
分类号
TN873.3 [电子电信—信息与通信工程]
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集成电路应用
2013年 第9期
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