摘要
利用扫描电子显微镜研究了热灯丝 CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程 ,给出了实验结果 .着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制 .
The process of diamond nucleation in biased hot filament chemical vapor deposition system is investigated by scanning electron microscope,and the results are given.The mechanism of negative bias enhanced diamond nucleation is emphatically analyzed.
出处
《广西师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2000年第3期12-15,共4页
Journal of Guangxi Normal University:Natural Science Edition
基金
国家自然科学基金资助项目!( 1 990 4 0 1 6)
