非接触式静电检测仪的实用研究

静电已逐渐引起人们的关注,对一些重要场所的静电防护逐渐完善。目前静电电位检测方法主要有接触式和非接触式两种,其中接触式只能用于金属导体电位检测,非接触式测量系统实现了对各种物体电位高精度的测量,但它本身还有检测距离近且要求严格、对原有电场有干扰、测量频带窄等缺点。笔者将结合静电的基础理论,以现有静电检测的发展历程及现状为框架,以传感器及测量原理为重点,对当前的相关发展及成果作一综述。