大口径硅透镜高精度抛光工艺的研究

摘要：大口径硅透镜作为一种中波红外光学材料，为满足其需求量的加大及加工精度的提高，对提高大口径高精度硅透镜的传统抛光效率做出研究和探讨，就影响硅透镜抛光效率的原因进行分析说明，在原有的抛光工艺上进行相应的改进，使抛光效率得到很大的提高。