用于金属膜电阻器的超超低阻靶材的研制

介绍超超低阻靶材(ρ<0.5Ω·mm^2/m)的制造工艺及其性能。使用该靶材,不仅能提高金属薄膜电阻的生产效率和产品性能,而且对环境基本不污染。