摘要
文中介绍以Ｎ型单晶硅为基底，利用微机械加工研制而成的一种中央上举开放式差动电容压力传感器的结构及其设计。
The structure and design of a kind of differential capacitive pressure sensor was described in the paper. It uses N type single crystal silicon as its floor and is made by micromechanical process.
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000年第12期4-5,19,共3页
Instrument Technique and Sensor
基金
国家"九五"重点科技攻关项目!(96-748-02-01/10)
关键词
微机械
中央上举
差动电容
压力传感器
Micromechanical, Centric Lifted, Differential Capacitance, Sensors
