大口径干涉仪结构初探

为解决大尺寸光学元件的面形检测的困难,比较不同形式的干涉仪,最终发现反射式平行光管式的卧式斐索干涉仪的精度较高;设计一款改进的卧式斐索干涉仪,测量精度较高,约为λ/10。该仪器价格低廉、实用性强,可应用于科研、生产等领域的大口径光学元件的面形精确检测。