洁净厂房的环境监测系统

生产环境中空气、工艺用纯气和液体的洁净度及其他空气参数(温/湿度,风速,压差)对半导体,制药,电子等行业有着至关重要的作用。采用便携式或车载式的空气粒子计数器对洁净厂房的洁净度进行定期的人工巡检存在一些缺点,为了克服人工检测的缺点,我们可以采用环境实时监测系统对洁净厂房进行监测。常用的环境监测系统有多空气计数器集中监测系统、多管式顺序采样监测系统和多环境参数混合集中监测系统三种形式。根据不同的洁净厂房要求,在不同的洁净区域应设计相应的环境监测系统,既满足监测要求又降低采样的成本。