瞬态薄膜热电传感器的新技术研究

薄膜热电传感器由于具有体积小、热容量小及响应速度快等优点成为国内外学者研究的重点。现有的薄膜制备工艺不成熟,一致性差,效率低,制备成本高,所以现在多针对特殊领域的研究,难以产品化和推广。提出了一种基于电子印刷工艺制备薄膜热电传感器的新方法,该方法克服了以往工艺的弊端,为热电传感器的微型化、高速化、集成化发展提供了新的研究方向。