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走进纳米加工世界

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作者 绍莹
出处 《电子产品世界》 2000年第12期45-46,共2页 Electronic Engineering & Product World
关键词 纳米加工 半导体工艺 微电子
分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电子产品世界
2000年 第12期

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