新型纳米加工技术的研究进展

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摘要随着纳米技术的发展和电子器件小型化的需求,纳米加工方法越来越多地引起人们的关注,纳米技术的核心是纳米加工技术。新型纳米加工技术突破传统光刻限制和有机高分子结构的限制,属于多项纳米操纵加工技术的系统工程研究,主要特色为瞄准学科前沿的创新性应用基础研究,具有较强的创新性、前瞻性和原创性,具有广泛的应用前景。

作者朱团王英刑艳邱敏陈丽华

机构地区黑河学院物理化学系上海交通大学微纳科学技术研究院东北师范大学化学学院胶体与界面研究所

出处《科技创新与应用》 2014年第2期37-37,共1页 Technology Innovation and Application

基金黑河学院科学技术研究项目"新型纳米加工技术的研究"(项目编号:KJY201208)

关键词无机纳米材料纳米加工技术研究

分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]

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