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MOCVD设备成功实现国产化

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摘要 事件:2013年初,国产MOCVD设备纷纷出炉,具有自主知识产权的MOCVD设备国产化成功,意味着相关技术长期被国外垄断的局面将被打破,国内LED自主产业生态链也将更加完善。广东省中科宏微半导体设备有限公司(以下简称“中科宏微”)研制开发的量产型MOCVD设备在国内首次实现5台实际销售成绩,截至2013年10月,中科宏微的5台设备已经陆续交付客户;2012年12月6日,上海理想能源有限公司研制开发的MOCVD设备成功下线,并与客户签订了设备应用验证合同;2012年12月12日,中晟光电设备(上海)有限公司在客户的多次考察和验证各项工艺的基础上,
出处 《新材料产业》 2013年第12期6-6,共1页 Advanced Materials Industry
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