全国半导体设备和材料标准化技术委员会第三届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会圆满闭幕

全国半导体设备和材料标准化技术委员会第三届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会于2013年11月11—13日在四川成都隆重召开，大会由全国半导体设备材料标准化技术委员会秘书处王香秘书主持。