摘要
微电机系统(MEMS)是由多种学科交叉融合的跨学科研究领域。本文利用滑模变结构控制法对MEMS谐振器混沌运动进行了控制。最后用数值模拟验证了所选控制器的有效性。
Micmelectromechanical systems （MEMS） is interdisciplinary research field.In this paper for MEMS resonator is controlled by using the sliding mode control method.Finally,numerical simulations are carried out to verify the effectiveness of the proposed controller.
出处
《科技视界》
2013年第33期31-31,51,共2页
Science & Technology Vision
基金
天津职业技术师范大学研究生创新基金资助项目(YC12-09)
