轻骨料混凝土微电子厂房微振动响应研究

采用有限元分析软件SAP2000对某微电子厂房光刻区进行建模分析。通过对基底输入实测环境振动信号,得出工作平台上典型点在轻骨料混凝土厂房模型以及普通模型在不同阻尼比下的加速度、速度和位移反应。结果表明,轻骨料混凝土可以有效减小结构重量,减小加速度响应;但速度及位移响应略有增大。