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摘要 一种碳酰氟的纯化方法 摘要:本发明涉及一种碳酰氟的纯化方法,属于氟化工、电子工业气体技术领域。该纯化方法:先将COF2粗产品气体进行脱轻和脱重处理:脱轻处理时,纯化装置底部为-112~-48℃,压力为0.01~0.6MPa,顶部比底部低0.5~30℃;脱重处理时,
出处 《低温与特气》 CAS 2013年第6期50-50,共1页 Low Temperature and Specialty Gases
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