掺铝氧化锌的工艺参数对Low-E面电阻的影响
摘要
通过改变ZnA10靶的氧气量以及溅射功率,测量Low-E膜层面电阻的变化,分析掺铝氧化锌薄膜对低辐射镀膜玻璃面电阻的影响。
出处
《上海建材》
2013年第6期26-27,共2页
Shanghai Building Materials
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