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AZO透明导电薄膜的特性、制备与应用 被引量:38

Properties、Preparation and Application for AZO Transparent Conducting Thin Films
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摘要 本文综述了 AZO透明导电薄膜的结构特点 ,电学和光学的特性 ,薄膜研究、应用和开发现状 。 In this paper, the micro structural, electrical and optical properties of AZO transparent conducting films are described and the present AZO thin films development and applications are given. So far as we know the AZO thin films developing prospects are concluded.
出处 《真空》 CAS 北大核心 2000年第5期10-13,共4页 Vacuum
关键词 特性 制备 应用 AZO 掺铝氧化锌 透明导电薄膜 AZO thin films properties preparation application
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