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自动二维空间扫描红外光谱仪

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摘要在一些高科技领域,往往要对材料组分进行非破坏性的二维测量,例如,半导体材料在晶体生长过程中,由于分凝而造成晶体材料组分在轴向和径向的不均匀性。这方面的实例很多,在红外半导体探测器工业中得到广泛应用的半导体碲镉汞(Cd_xHgl_(-x)Te)

作者王威礼

机构地区北京大学物理系

出处《国外科学仪器》 1989年第2期27-28,共2页

关键词红外光谱仪二维空间光谱仪

分类号 TH744.1 [机械工程—光学工程]

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国外科学仪器

1989年第2期

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