LaNiO3氧敏陶瓷薄膜制备工艺的确定

本实验研究了以硝酸镧、硝酸镍为原料，柠檬酸为螯合剂的无机盐溶胶－凝皎法（ＩＳＧ）合成ＬａＮｉＯ３稀土复合氧化物陶瓷薄膜的工艺过程，讨论了烧成温度、预烧温度和拉膜次数对薄膜气敏性能的影响，结果表明：预烧温度和烧成温度为８００℃，５～６次成膜的ＬａＮｉＯ３薄膜的表面没有大的开裂，具有较快的响应速度。