Φ2mm棒状压电陶瓷微马达的研究

研制了一种成本低廉、结构简单的直径Φ２ｍｍ的摆头式棒状压电微马达。文中详细阐述了微马达的驱动机理、制作工艺及部分压电微马达的工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸Φ２ｍｍ×８ｍｍ的压电陶瓷圆棒，马达整体装配外形尺寸Φ２ｍｍ×１２ｍｍ，重量不足０．２５ｇ，稳定工作频带宽，约为３ｋＨｚ，最高空载转速不低于５００ｒ／ｍｉｎ。