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反渗透在超纯水排放水处理中应用
被引量:
2
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摘要
针对超纯水产水效率低,在目前纯水制备系统基础上,为提高产水效率,采用增加一套反渗透系统,对原有纯水系统排放水进行收集处理,提高了水资源利用率,降低了超纯水制备成本。
作者
施健荣
秦新安
机构地区
无锡微电子科研中心
出处
《资源节约与环保》
2013年第6期95-95,共1页
Resources Economization & Environmental Protection
关键词
超纯水
反渗透
排放水
分类号
TQ085 [化学工程]
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