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GaAs晶片表面的光辐射清洁及红外测温

LIGHT IRRADIATION CLEANING OF GaAs SURFACE AND ITS TEMPERATURE MEASUREMENT BY IR RADIATION
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摘要 本文介绍了在超高真空系统中对GaAs晶片进行光辐射清洁。这个实验是在实际研制的象增强器第三代管转移铟封系统上完成的,已具有实用价值。用这套清洁方法所制作的反射式GaAs光阴极积分灵敏度已达750μA/lm。 The surface of p+ - GaAs layer being thermally cleaned by white- light irradia-tion is introduced in this paper. The cleaning method is practically used in our photocathode-transfer vacuum system and the achieved sensitivity of reflective mode GaAs photocathode which is cleaned by the method is up to 750 μA/lm.
出处 《高速摄影与光子学》 CSCD 1991年第2期167-171,共5页
关键词 GAAS 光电阴极 光辐射 测温 清洁 NEA photocathode light irradiation.
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