摘要
本文给出了微波等离子体化学气相沉积多晶金刚石薄膜及外延单晶金刚石薄膜的各种形貌,并对这些形貌的形成做了理论分析。
In this paper, morphologies of poly crystal line diamond film and epitaxial single-crystal diamond film by microwave plasma CVD method were reported,the causes of these morphologies were analyzed.
出处
《高压物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第3期197-204,共8页
Chinese Journal of High Pressure Physics
基金
"863"资助项目
关键词
金刚石
薄膜
微波
化学气相沉积
diamond film,microwave plasma CVD,morphology.
