MO源的研究和开发

MO源是“金属有机化学气相沉积(即MOCVD)”技术的支撑材料,它是元素周期表中Ⅲ-Ⅴ或Ⅱ-Ⅵ族的高纯金属有机化合物,目前国际水平的纯度已达到或接近6N(即99.99999％)。尽管在研究中使用的MO源已近70种,但是最常用的只不过是十几种,而且目前也仅三甲基镓(TMGa)、三甲基铟(TMIn)和三甲基铝(TMAl)等四五种用量较大,达到了走出实验室、可进行产业化规模。目前世界上可提供商品MO源的只有英国的Epichem公司,美国的Morton公司、Akzo Nobel公司,日本的酸素公司及我国。世界市场MO源售价由于品种的不同而价格有异,主要几种MO源的价格在1.5～10万美元/kg。