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可深度加工的激光直写技术
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摘要
研究人员利用双光子聚合法制备了具有亚微米分辩率的有高度的复杂结构。
出处
《中国光学》
EI
CAS
2014年第1期175-175,共1页
Chinese Optics
关键词
激光直写技术
深度加工
复杂结构
研究人员
分辩率
亚微米
聚合法
双光子
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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中国光学
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