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正压漏孔校准装置
被引量:
21
Pressure Leak Calibration Apparatus
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摘要
正压漏孔校准装置是校准气体漏率的计量标准 ,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准 ,校准范围为 1× 10 2 ~ 5× 10 -5Pa·L/s。
作者
张涤新
李得天
张建军
许珩
冯焱
龚月莉
机构地区
兰州物理研究所
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第1期55-59,共5页
Vacuum Science and Technology
关键词
真空计量学
漏率校准
正压漏孔
校准装置
质谱检漏仪
标定
正压检漏
分类号
TB774.3 [一般工业技术—真空技术]
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真空科学与技术
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