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正压漏孔校准装置 被引量:21

Pressure Leak Calibration Apparatus
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摘要 正压漏孔校准装置是校准气体漏率的计量标准 ,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准 ,校准范围为 1× 10 2 ~ 5× 10 -5Pa·L/s。
机构地区 兰州物理研究所
出处 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第1期55-59,共5页 Vacuum Science and Technology
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引证文献21

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