ITO靶材的发展现状

1 前言 铟锡氧化物(英语 indium tin oxide)简称ITO。成品ITO陶瓷靶色泽为墨绿色亚光,形状为圆片或矩形片,圆片尺寸一般为φ80mm×6mm以上,矩形片尺寸一般为180mm×160mm×6mm～380mm×380mm×9mm之间,ITO靶的化学成份是In_2O_3-SnO_2,其中In、Sn按重量百分比铟含量要超过80％。