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超光滑表面粗糙度的偏振干涉测量系统 被引量:2

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摘要 本文分析了一种新颖的用于超光滑表面粗糙度测量的系统。该系统的关键之处是利用一个双折射石英透镜作分光镜,以散焦光束在被测表面上所对应的光斑区域内的平均轮廓高度作基准。这种测量系统对被测表面高度变化的灵敏度好于0.1nm,水平方向具有1μm的分辨率。本文还将该仪器与机械触针式轮廓仪的测量结果进行了比较。
作者 石照耀
出处 《工具技术》 北大核心 1991年第5期36-38,共3页 Tool Engineering
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同被引文献22

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引证文献2

二级引证文献14

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