专用集成电路与系统国家重点实验室成功研制出半浮栅晶体管器件

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摘要随着动态随机存储器存储密度的提升，电容加工的技术难度和成本大幅度提高，成为制约动态随机存储器发展的关键性因素。因此，科研人员一直在寻找可以用于制造动态随机存储器的无电容器件技术。专用集成电路与系统国家重点实验室（复旦大学）张卫教授团队长期以来一直从事集成电路工艺和新型半导体器件的研发，于近期取得重大突破，

出处《现代材料动态》 2014年第2期24-24,共1页 Information of Advanced Materials

关键词国家重点实验室专用集成电路器件技术系统动态随机存储器晶体管浮栅集成电路工艺

分类号 TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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