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流化床法制备粒状多晶硅研究进展 被引量：4

Research progress in fluidized process for preparation of granular polysilicon
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摘要 综述流化床法制备粒状多晶硅的技术概况及生产技术问题的研究情况。 The technological status of fluidized process for preparation of granular polysilicon and studies on technological issues in production are summarized.
作者 陈其国 高建
机构地区 江苏中能硅业科技发展有限公司 天津工业大学
出处 《氯碱工业》 CAS 2014年第1期31-34,38,共5页 Chlor-Alkali Industry
关键词 多晶硅 流化床法 粒状硅 生产技术 polysilicon fluidized process granular silicon production technology
分类号 TQ127.2 [化学工程—无机化工]
  • 相关文献

参考文献5

二级参考文献81

共引文献82

同被引文献68

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引证文献4

二级引证文献7

氯碱工业
2014年 第1期

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