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EVGroup公司推出新一代EVG120抗蚀剂自动处理系统 EVGroup（EVG）公司推出新一代EVG120抗蚀剂自动处理系统，除增加了一些新功能外，其生产率亦得到了显著提高，且外观设计更加精巧。该新一代EVG120系统可满足涂胶和显影等各种应用市场，包括MEMS以及先进的封装和化合物半导体产品。该系统灵活性好，并且可以配置旋转和喷涂模块，这一独特的功能可以最大限度地提高生产效率，并且优化经营成本。