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新型柔性电路自我修复电极

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摘要 瑞十科学家日前研制出了一种新型电路,可以应用于人体组织以及隐肜眼镜,具有微小、柔性、透明等特点这种电路被印在厚度仪为1mm的聚对二甲苯(parylene)上,采用电子束蒸发、原子层沉积,旋涂和射频溅射法沉积等技术制造,之后经过紫外线光刻和蚀刻来创建结构。研究人员称,“之所以选用parylene作为承载材料,是因为其能够适应150℃的高温,并且不会被大部分溶剂腐蚀。
出处 《机械工程师》 2014年第2期I0006-I0006,共1页 Mechanical Engineer
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