超纯气体用具有１００％Ｃr2Ｏ层不锈钢管的开发
出处
《太钢译文》
2000年第4期59-62,共4页
Taigang Translation
-
1罗腾蛟.国际半导体生产设备展望[J].上海半导体,1991(1):41-46.
-
2为您服务[J].集成电路应用,2004,21(2):48-59.
-
3勃.,ЗС,欧真虎.半导体生产设备用石墨纯度的提高[J].电碳,1989(4):30-32.
-
4Bret Robertson,徐进.低成本高性能的解决方案—半导体生产设备中液体与气体压力的监控[J].传感器世界,1997,3(3):23-26.
-
5日本加大家电用半导体投资额[J].电子工业专用设备,2006,35(3):21-21.
-
6半导体生产设备全球供货额2006年Q2同比增长27％[J].电子工业专用设备,2006,35(9):29-29.
-
7戚其丰,黄建荣,胡跃明.基于Linux的半导体生产设备通用平台的实现[J].电子工艺技术,2006,27(6):352-354. 被引量：1
-
8业界要闻[J].中国集成电路,2007,16(10):1-10.
-
9国内首台全自动键合机研制成功[J].中国科技产业,2007(3):114-114.
-
10《半导体技术》稿约及投稿格式[J].半导体技术,2011,36(3):241-241.
;
