激光校正温度传感元件的设计与应用

激光校正温度传感元件的核心部分是一个仅为1mm^2的基片,上面沉积一个坡莫合金电阻网路,它用激光切割而成。传感元件具有两个主要优点:第一,具有极好的线性、长期稳定性和高的温度系数,以及在+20℃时所具有的较大的2000Ω的额定电阻值。这保证了在不需要消耗大能量的情况下,进行精确测量。