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半导体研究所成功制备RF MEMS振荡器
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摘要
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心，在自然科学基金、中科院项目的支持下，经过努力探索，成功制备RFMEMS振荡器。
机构地区
中科院半导体所
出处
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期53-53,共1页
Bulletin of the Chinese Ceramic Society
关键词
中国科学院半导体研究所
振荡器
制备
工程研究中心
自然科学基金
集成技术
中科院
分类号
TN3-24 [电子电信—物理电子学]
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硅酸盐通报
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