影响气相色谱法分析三氯氢硅的因素讨论被引量：3

Factors discussion of trichlorosilane analysis by GC

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摘要讨论了三氯氢硅的分析方法,对分析结果影响较大的因素,有针对性地提出了应对方法,为准确分析三氯氢硅含量提供帮助。 The analysis method and influencing factors of trichlorosilane were discussed.And it also pointed out the corresponding measures in order to provide assistance for trichlorosilane analysis.

作者温文兵孙红艳祁娜

机构地区山西潞安高纯硅业科技有限责任公司

出处《中国氯碱》 CAS 2014年第1期31-32,共2页 China Chlor-Alkali

关键词三氯氢硅气相色谱多晶硅准确度 trichlorosilane GC poly silicon accuracy

分类号 O657.71 [理学—分析化学] TQ126.37 [化学工程—无机化工]

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