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中芯国际启动28nm新工艺

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摘要 中芯国际近日宣布,公司正式进入28nm工艺时代。公司表示,启动28nm新工艺后,公司将可为全球集成电路设计商提供包含28nm多晶硅(Poly—SiON)和28nm高介电常数金属栅(HKMG)在内的多项目晶圆(MPW)服务。
出处 《中国集成电路》 2014年第3期2-2,共1页 China lntegrated Circuit
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