中微刻蚀机获得韩国先进存储芯片客户重复订单

近日，中微半导体设备有限公司（简称“中微”）宣布获得韩国先进存储芯片生产厂商购买PrimoSSCAD—RIETM（中微单反应台等离子体刻蚀设备）的重复订单。该设备被客户认可为用于16nm关键闪存芯片加工的首选设备（PTOR），将用于大批量芯片生产。