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软X射线多层膜技术 被引量:1

X-ray Multilayers
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摘要 本文总结了长春光机所近年来开展的X射线波段多层膜光学元件研制工作。列举了其主要进展和成果。并对今后一段时期的进一步发展作了简要讨论。 Researches of X-ray multilayers have been carried out in this institute for years.This paper summarzes the main results which include the polishing of super-smooth su- bstrates; the design,deposition, test,and evaluation of mul- tilayers,and some application schemes of using multilayers as mirrors and dispersing elements in soft X-ray region. Problems are discussed and suggestions are proposed for the further researches.
出处 《光学机械》 CSCD 1991年第1期34-38,共5页
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献1

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共引文献3

同被引文献8

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引证文献1

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