摘要
本文详细介绍了200mm×200mm高精度格网标准板的制作工艺。在研制过程中采用了激光测长技术、光电瞄准技术、高精度光子平板玻璃研磨、镀膜及刻划技术。使格网标准板的点位误差经中国计量科学院鉴测已达2μm,达到国内目前先进水平。本文还对格网标准板的误差进行了分析。
The article introduced in detail manufacture technology of 200mm×200mm high precise standard plate with a tolerance of less than 2μm. The article analysed the errors of the standard plate too.
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
1991年第5期40-43,共4页
Optical Technique
