百级洁净室洁净度异常的成因分析和处理方法被引量：3

Cause and Approach to Cleanliness Abnormality in Class 100 Clean Room

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摘要探讨在百级洁净室处理洁净度异常问题的思路。 Probes into the approach to cleanliness abnormality in Class 100 clean room.

作者陈球

机构地区中国华晶电子集团公司动力工厂

出处《微电子技术》 2001年第1期60-64,共5页 Microelectronic Technology

关键词集成电路 VLSI 洁净度洁净室 Unidirectional flow Contamination Cleanliness Leakage

分类号 TN470.5 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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