EDWARDS将在2014SEMICON^R CHINA展会上展示世界领先的真空设备和尾气处理系统

2014年3月18日，全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商Edwards公司在上海举办的SEMICON^R China展会上展示一系列高性能真空泵，包括最近推出的STP—iXA4506大容量（1arge—capacity）涡轮分子泵（turbomolecu-larpump，TMP）。对于目前世界最大的半导体集成电路市场，SEMICONChina展会是设备制造商展示其产品和技术的重要活动。