多源PCVD合成SiNx—SiOy和SiNx—SiCy复合膜
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2张正模.通过超磁控管PCVD生成导电的掺氮a—C：H膜（DLC膜）[J].等离子体应用技术快报,1997(1):5-6.
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3张慰萍,陈竞,方容川,胡克良.制备类金刚石薄膜过程中的等离子体发射光谱[J].物理化学学报,1992,8(3):383-388.
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