X射线干涉仪实现扫描探针显微镜样板线间距纳米测量
被引量：1
摘要
X射线干涉仪以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位 ,可以实现亚纳米精度的微位移测量。提出了将 X射线干涉仪和扫描隧道显微镜结合起来 ,利用单晶硅的晶格尺度测量扫描探针显微镜样板节距的技术方案 。
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第12期1675-1679,共5页
Acta Optica Sinica
基金
国家自然科学基金!( No.596750 79)
德国物理技术研究院资助项目
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