油泵油嘴偶件平面度误差的干涉法检测

前言 光波干涉法是直接测量中精度最高的方法,常用于尺寸不太大、表面粗糙度要求很高的量具或工件表面的平面度误差(简称平面度)的检测。采用光波干涉法测量,最简单可靠的检测设备是平面平晶。