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不平衡磁控管溅射的碳复合涂层

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作者 马兵
出处 《等离子体应用技术快报》 2000年第11期11-13,共3页
关键词 不平衡磁控管溅射 碳复合涂层 高速钢
分类号 TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
  • 相关文献
等离子体应用技术快报
2000年 第11期

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